住友化学は５月７日、高純度アルミナの新製品として、低α線量の高純度微粒球状アルミナ「ＥＬＡシリーズ」を上市すると発表した。無機材料分野のイノベーションを加速し、高純度アルミナ事業における先端半導体関連分野への展開を一層強化する。
半導体の高集積化・高性能化が進む中、封止材に用いられる材料には、先端半導体の誤作動の原因となり得るα線などの放射線の低減や放熱特性の向上が求められている。同社の１００％子会社である韓国の東友ファインケムは、こうしたニーズに対応する製品として、世界に先駆けて低α線量の高純度微粒球状アルミナ「ＥＬＡシリーズ」の開発に成功した。
「ＥＬＡシリーズ」は、放射線量が極めて低いことに加え、高い放熱特性を兼ね備えている点が特長となる。これらの特性は、ＡＩなどの高い信頼性が求められる用途において特に適している。また、顧客の要望に応じて、粒子サイズを数μｍ以下に精緻に制御できるほか、表面状態についても用途に応じたカスタマイズが可能となる。
また、同社は、先端半導体の製造プロセスの高度化に伴い要求が高まるセラミックス装置部材やプロセス材料向けにも、高純度アルミナ製品のラインアップ拡充を進めている。先に上市した超微粒アルミナ「ＮＸＡシリーズ」については、その高い性能ポテンシャルの活用に向けて顧客と共に検討を進めており、これらの用途での大幅な性能向上が確認されている。
近年、先端半導体市場では、周辺材料にも一層高度な性能が求められる中、無機材料によるソリューション提供への期待が高まっている。同社は、「ＥＬＡシリーズ」および「ＮＸＡシリーズ」を高純度アルミナ事業の成長を牽引する製品群の一つと位置づけ、先端半導体分野においてグローバルに拡販を進める。また、顧客との連携を強化し、ニーズに合わせた新グレード開発を推進することで、今後もＡＩやデータ通信などのデジタル革新を支える半導体産業の発展に寄与するとともに、スマート社会の実現に貢献していく。
左ＥＬＡー２０００ＵＦ、右ＥＬＡー５０００ＵＦ
左ＮＸＡー１００の焼結体組織、右既存微粒グレード（ＡＫＰー50）の焼結体組織
左から、ＮＸＡー１００、ＮＸＡー１５０、ＡＫＰー50（既存微粒グレード）
