電子線レジストを上市 日本ゼオンが新グレード

2019年08月22日

ゴムタイムス社

 日本ゼオンは8月2日、次世代電子部品向けポジ型電子線レジストの新グレード「ZEP530A」シリーズを上市したと発表した。

 同社は、半導体デバイスの回路パターンをウェハー上に転写する際に使用される保護膜として、かねてより主鎖切断型のポジ型電子線レジストZEPシリーズを展開し、国内外から広く採用されている。

 今回、既存グレード「ZEP520A」で培った技術をベースに、さらなる高解像度を実現したZEP530Aシリーズを開発し、上市した。ZEP530Aシリーズは、優れたドライエッチング耐性を保持しつつ、解像度とプロセスウィンドウを向上させた製品で、レジストの薄膜化により、ハーフピッチ 17nmのライン&スペースパターンの解像も確認している。

 また、ZEP530Aの高解像度を引き出すため、新規現像液「ZED―N60」も併せて開発・上市した。

 主な使用用途としては、次世代電子部品の製造を想定しており、商用化が見込まれる第5世代移動通信システムへも活用の場が広がることが期待される。

 同社グループは、今後も最新技術を駆使した製品開発を促進し、顧客にとって価値ある製品の提供に努めていくとしている。

 

電子顕微鏡での上面の写真

電子顕微鏡での上面の写真

 

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