三井化学は７月４日、同社の関係会社である三井化学ＥＭＳが、本年７月１日に設立、営業を開始したことを発表した。
旭化成よりペリクル事業を引き継ぎ誕生した三井化学ＥＭＳは、液晶パネルの露光工程で使用するＦＰＤペリクルのＮｏ・１プレイヤーで、半導体露光工程に使用するＤＵＶペリクルにおいても、先端領域で多く使われる液浸ＡｒＦ向けを中心に、市場で高い評価を受けている。
一方、同社は、ＤＵＶペリクルの先端品市場におけるリーディングカンパニーとして、また、半導体業界の最先端技術であるＥＵＶ露光に用いられるＥＵＶペリクルの事業化を果たしたトップランナーとして、ペリクル市場において高いプレゼンスを獲得してきた。
三井化学ＥＭＳの設立により、今後さらに同社グループのペリクル事業を発展させ、新製品の開発や最先端の技術向上を通じて、世界Ｎｏ・１の総合ペリクルメーカーを目指していく。
ペリクルの製品写真
