レゾナックは9月3日、日本、米国、シンガポール等の半導体材料・装置・設計企業27社(同社含む)による共創型評価プラットフォーム「JOINT3」を設立したと発表した。
半導体材料・装置・設計の分野において世界トップクラスの企業が集結し、515×510mmサイズのパネルレベル有機インターポーザー試作ラインを用いて、パネルレベル有機インターポーザーに適した材料・装置・設計ツールの開発を推進する。
同社は、茨城県結城市の下館事業所(南結城)内に同プラットフォームの活動拠点となる「先端パネルレベルインターポーザーセンター『APLIC(Advanced Panel Level Interposer Center)』」を開設し、APLIC内に同試作ラインを構築し、2026年に稼働を開始する予定となる。実構造に近い検証結果を得ることで、参画企業の開発を加速する。
昨今、市場が急拡大している生成AIや自動運転を実現する次世代半導体においては、後工程のパッケージング技術がキーテクノロジーのひとつとなっている。なかでも、複数の半導体チップを並列に配置し、インターポーザー(中間基板)を介して接続し実装した2・xDパッケージは、データ通信の容量増加、高速化に伴い、さらに需要が拡大する見込みとなる。インターポーザーは、半導体の性能向上に伴いそのサイズが大型化しており、シリコンインターポーザーから有機材料を用いた有機インターポーザーへの移行が進んでいる。製造方法に関しては、円形ウェハから四角片を切り出す手法が主流だが、インターポーザーのサイズが大型化することで、ウェハあたりのインターポーザーの取り数が減少するという課題が生じている。この課題に対処するため、円形のウェハ形状から四角いパネル形状へ変更し、インターポーザーの取り数を増加させる製造プロセスが注目されている。
JOINT3において、同社は、技術開発テーマの取りまとめ、試作ラインの設備の運営など、JOINT3の推進を行うとともに、参画企業との共創により、パネルレベル有機インターポーザーに適した材料開発を推進する。
同社は、半導体の製造装置・材料メーカーの枠を超えて進めてきた半導体パッケージ技術開発のコンソーシアム「JOINT」、および「JOINT2」、また、米国シリコンバレーで進めている、「USーJOINT」で得た知見を生かし、次世代半導体パッケージの技術革新に貢献していく。
2025年09月05日

