半導体材料部門で優秀賞 日本ゼオンの電子線レジスト

2020年06月26日

ゴムタイムス社

 日本ゼオンは6月25日、同社が開発した次世代電子部品向けポジ型電子線レジストが、電子デバイス産業新聞主催の「半導体・オブ・ザ・イヤー2020」で半導体電子材料部門で優秀賞を受賞したと発表した。

 今回、受賞対象となった電子線レジスト「ZEP530A」は、従来品より優れた解像度に加え、ドライエッチング耐性や広いプロセスマージンを有しており、薄膜化により、ハーフピッチ(hp)17nmのレジストパターンの解像が確認されている。

 同社は、主鎖切断型のポジ型電子線レジストのZEPシリーズを国内外に展開しているが、次世代電子部品向けに開発され、昨年上市された同製品は、5G(第5世代移動通信システム)時代の本格的な到来を前に既に量産が開始されており、顧客から好評を得ている。

 「半導体・オブ・ザ・イヤー」は、電子デバイス産業新聞の主催により、IT産業を支える最先端の製品・技術を表彰し、半導体業界のさらなる発展に寄与することを目的として、1994年から毎年開催されている。

 なお、授賞式・表彰式は例年、JPCA Show「電子機器トータルソリューション展」会場内で開催されているが、今年は新型コロナウイルスの感染拡大が懸念されることから、開催は中止となった。

 同社グループは今後も、独自で培った技術を更に発展させながら、新たな時代のニーズに応えるよう努めていくとしている。

 

走査型電子顕微鏡による上面観察写真

走査型電子顕微鏡による上面観察写真

 

 

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