JSR小柴会長が受賞 SEMIボブ・グラハム記念賞

2019年12月16日

ゴムタイムス社

 JSRは12月12日、小柴満信代表取締役会長が、SEMIよりボブ・グラハム記念SEMIセールス・アンド・マーケティング・エクセレンス賞を受賞したと発表した。11日に東京ビッグサイトで開催された「SEMICON Japan 2019」のプレジデントレセプションにおいて、受賞式が行われた。22人目の本賞受賞者となる小柴氏は、半導体業界において極めて重要な複数世代のフォトレジストを開発し、市場に投入した功績が認められた。

 半導体の微細化および低消費電力化の継続的な進展は、革新的なフォトレジストにより実現してきた。小柴氏は、193nmドライレジスト、193nm液浸レジストおよびEUVレジストといういずれも半導体業界の微細化推進にとって極めて重要な技術に重点を置き、開発を加速させ、また、同社の研究開発イニシアティブと顧客との橋渡し役を務めて企業と顧客ニーズを一致させた。さらに、193nmドライからの次世代露光技術選択において、157nmから193nm液浸へ大きく方向転換を行う中心的な役割を果たした。
 
 今回の表彰を受け、小柴会長は「今回は世界的な賞を受賞して名誉に思うとともに大変嬉しい。ムーアの法則を他のサプライチェーンパートナーと共に今後も牽引していきたい」と述べている。