ゴムタイムス社 ペリクルで蘭企業と契約 三井化学、岩国に新設備 2019年6月3日 14時 三井化学は5月31日、半導体露光機のグローバルトップメーカーであるオランダのASML社と、EUV対応ペリクル事業の独占ライセンス契約を締結したと発表した。同日開催の経営概況説明会で淡輪敏社長が明らかにした。 これにより、EUVペリクルの生産権と生産販売権を取得し、同社は山口県の岩国大竹工場内に生……