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ニッタ ウォーターベース凝縮粒子カウンタの販売を開始

2017年06月02日

ゴムタイムス社


 ニッタは6月1日、米国TSI社製ウォーターベース凝縮粒子カウンタ「エアロトラック9001」の販売を同日から開始したと発表した。

 微細化が進む半導体製造プロセスでは、ナノ粒子汚染による製造阻害が大きな課題となっている。そこで、TSI社は高清浄度環境での粒子汚染度の把握というニーズに応え、ウォーターベース凝縮粒子カウンタを開発した。

 同製品は革新的な構造と幅広い自己診断機能を採用したことにより、低偽計数率と大流量を実現した。純水凝縮式で化学物質を排出する心配もなく、より信頼度の高い測定が可能だ。

 また、高圧ディフューザ(エアロトラック7950)と併用することで、高圧ガス中のナノ粒子測定にも対応。用途に適した高度な清浄度管理を実現する。

 同製品の最小検出粒径は10nm。サンプル流量は0・1CFM(2・83L/min)、偽計数は<0・07個/28・3L(1CF)。最大可測濃度は5700万個/28・3L(1CF)@計数損失10%。凝縮液として超純水またはDIウォーターを使用する。

 主なターゲット分野は、半導体製造プロセス、半導体検査工程、半導体ウェハ製造工程・ウェハ再生工程、有機EL製造プロセス(OLED)、半導体向けプロセスガス。