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ニッタ クリーン・帯電防止チューブ「ESチューブ」を発売

2017年02月02日

ゴムタイムス社


 ニッタは2月1日、新製品としてクリーン・帯電防止チューブ「ESチューブ」の発売開始を発表した。

 特長は、帯電防止性能(表面抵抗率1011Ω/sq以下)があり、塵埃も寄せ付けないこと。また、特殊な帯電防止剤を使用しているため、パーティクルなどの汚染がない。

 ふっ素系不活性液体に対しても優れた耐性を発揮。従来のカーボン入り帯電防止チューブよりも、優れたコストパフォーマンスを有している。

 使用流体は空気(クリーンエアー)、純水、ふっ素系不活性液体。使用温度は空気が―50℃~+80℃、ふっ素系不活性液体が―50℃~+50℃。最高使用圧力は 0・5~0・7MPa(at 20°C)。サイズ(mm)は4×2・5、6×4、8×6、10×8、12×9、1/2インチ(12・7×9・56)の6種。カラーは白。 

 同社では、半導体・液晶製造装置、電子機器に適したクリーンチューブの製品開発に長年取り組んでおり、多くの装置に採用されている。

 冷却用に使用される純水やふっ素系冷媒は、一般樹脂チューブでは流体との摩擦によりチューブが帯電し、絶縁破壊を引き起こすことがある。対策としてカーボンなどを使用した帯電防止チューブや、チューブに金属を巻き付けるなどの対策が取られているが、カーボンの析出による流体の汚染や作業性の問題などがあった。

 それらの問題を解消するため、同社では帯電防止剤が析出しないクリーンなチューブの開発に取り組み、今回、帯電防止性とクリーン性を兼ね備えた柔軟なチューブを実現することができた。

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